第十六屆中國國際奈米技術產業博覽會（CHInano 2026）
奈米壓痕、超微量天平與微影光路搭建的環境物理微振隔離
展會背景與微振控制技術焦點
CHInano 是國內微納製造與半導體產業頂尖展會。在微納加工與超微量稱量中，外部微小地動會導致壓痕曲線失真與天平讀數漂移。默准在蘇州納博會現場設立實測展示，分享亞微米至奈米級隔振實測數據與完整控制鏈條。
重點關注工況: 奈米壓痕儀、原子力顯微鏡（AFM）、超微量天平與微影光路搭建的微振動控制及環境達標。
參展技術亮點與創新方案
- 亞微米級微振實時對衝：6 自由度閉環傳感器納秒級採樣，實時抑制地基微動；
- 原位量測信噪比優化：有效消除探針共振峰與微天平低頻漂移；
- 現場實測對比驗證：以客觀 VC 曲線與頻譜圖量化隔振效能。
核心展示與現場演示系統
默准 MZ-Active 紧凑型主动隔振台
微纳探针及纳米压痕仪微振抑制，高响应频宽，适配超净间桌面实验环境。
适用仪器：扫描探针显微镜（SPM/AFM）、纳米压痕仪、超微量分析天平
默准 MZ-Insight 低频微振诊断系统
针对半导体与微纳制造洁净室的三向振动测量与频谱能级评定。
适用仪器：超净工作间机台、光刻物镜测试台、半导体量测机房
默准 MZ-Balance 负刚度隔振台
面向十万分之一与百万分之一超微量称量，被动超低频隔离。
适用仪器：十万分之一超微量天平、微量热仪
展會現場實錄與實拍檔案
