先儲存一組可以比較的記錄
出現條紋、模糊或漂移時,先儲存原始影像、裝置型號、掃描引數和發生時間。再記錄當時是否有人走動、附近裝置是否在執行,以及現象是持續存在還是偶爾出現。
儘量固定樣品和成像引數再做比較。一次同時改動多個條件,即使影像改善,也很難知道哪項措施起了作用。
影像現象只能提供線索
地面振動可以影響掃描電鏡的成像清晰度;空氣聲和室溫變化也會影響顯微觀察。不同裝置的敏感程度不同,具體檢查專案應對照廠商安裝要求。JEOL 振動對策說明、ZEISS LSM 980 安裝要求分別介紹了這些影響。
SEM 影像異常還可能來自樣品荷電。不要把一種條紋或漂移現象直接當作地面振動的證據。JEOL 關於樣品荷電與影像偽影的說明
現場檢測怎樣安排
- 明確待回答的問題。 例如,條紋是否與附近泵執行有關,或現有隔振臺是否還適合當前儀器。
- 確定測點和方向。 按任務記錄裝置附近地面、支撐或檯面振動,並標註位置。
- 把環境事件與資料對上時間。 保留正常工作狀態下的資料,再在允許調整的條件下比較。
- 同時看影像表現。 振動資料的變化應與實際使用問題一起分析。
需要調整裝置執行狀態時,應由現場負責人按裝置操作要求進行。測試時長和時段由問題出現的規律決定。
檢測之後怎樣選方案
確認是結構傳遞的振動影響後,可結合裝置重量、底座尺寸與敏感方向,評估 MZ-Active 或 MZ-Balance。若空氣聲影響明顯,可進一步評估 MZ-Shield;溫度變化或裝置自身問題需要對應處理。
諮詢時帶上裝置型號、一張有代表性的影像和現象發生的時間,比只描述“實驗室不夠穩定”更容易開始排查。