第十六届中国国际纳米技术产业博览会（CHInano 2026）
纳米压痕、超微量天平与光刻光路搭建的环境物理微振隔离
展会背景与微振控制技术焦点
CHInano 是国内微纳制造与半导体产业顶尖展会。在微纳加工与超微量称量中，外部微小地动会导致压痕曲线失真与天平读数漂移。默准在苏州纳博会现场设立实测展示，分享亚微米至纳米级隔振实测数据与完整控制链条。
重点关注工况: 纳米压痕仪、原子力显微镜（AFM）、超微量天平与光刻光路搭建的微振动控制及环境达标。
参展技术亮点与创新方案
- 亚微米级微振实时对冲：6 自由度闭环传感器纳秒级采样，实时抑制地基微动；
- 原位量测信噪比优化：有效消除探针共振峰与微天平低频漂移；
- 现场实测对比验证：以客观 VC 曲线与频谱图量化隔振效能。
核心展示与现场演示系统
默准 MZ-Active 紧凑型主动隔振台
微纳探针及纳米压痕仪微振抑制，高响应频宽，适配超净间桌面实验环境。
适用仪器：扫描探针显微镜（SPM/AFM）、纳米压痕仪、超微量分析天平
默准 MZ-Insight 低频微振诊断系统
针对半导体与微纳制造洁净室的三向振动测量与频谱能级评定。
适用仪器：超净工作间机台、光刻物镜测试台、半导体量测机房
默准 MZ-Balance 负刚度隔振台
面向十万分之一与百万分之一超微量称量，被动超低频隔离。
适用仪器：十万分之一超微量天平、微量热仪
展会现场实录与实拍档案
